Hitachi SU8600 — это сканирующий электронный микроскоп с ультра-высоким разрешением, использующий холодную эмиссию электронов.

Технологические особенности:

• Источники холодной эмиссии: Высокая стабильность и яркость электронного луча для получения изображений с высоким разрешением даже при низких напряжениях ускорения.
• Оптика и детекторы: Включают улучшенные детекторы для получения информации и улучшения контраста изображения.

Автоматизация и удобство использования:

• Автоматизированные выравнивания: Повышают эффективность и производительность работы.
• Рецепты автоматического сбора данных: Обеспечивают высокую точность и воспроизводимость результатов.

Интерфейс и функциональность:

• Новая система отображения и интерфейс: Двухмониторная конфигурация и возможность одновременного отображения до шести сигналов.
• Интерфейс EM Flow Creator: Позволяет пользователям создавать повторяемые последовательности операций SEM для автоматического сбора данных.

Примеры применения:

• Полупроводниковые материалы: Изображения процессов SRAM и NAND, показывающие высокую детализацию при низких напряжениях.
• Материаловедение и науки о жизни: Изображения магнитных наночастиц, материалов для конденсаторов и структур биологических образцов.

Детальное описание технических характеристик устройства, включая диапазоны увеличения, напряжения ускорения, типы детекторов и требования к установке предоставляются по запросу.

Новая технология пушки CFE, используемая в SU9000, достигает самого высокого разрешения SEM в мире (0,4 нм при 30 кВ).

Сниженные аберрационные эффекты позволяют получать изображения с высоким разрешением при низких ускоряющих напряжениях для материалов, чувствительных к пучку, без необходимости в технологии замедления (1,2 нм при 1 кВ). SU9000 также обеспечивает производительность STEM (опция), гарантируя разрешение 0,34 нм, что подтверждается изображением решетки графита (002 d=0,34 нм).

Hitachi выводит на передний план превосходную фундаментальную производительность, такую как стабильная работа, высокая пропускная способность и высокое разрешение.

Высокая разрешающая способность:

• 0.4 нм при 30 кВ.
• 1.2 нм при 1 кВ.
• STEM (опция) обеспечивает разрешение 0.34 нм.

 
Стабильность и яркость источника электронов холодной эмиссии (CFE):

• Повышенная яркость в 2 раза при сохранении низкой энергетической ширины.

 
Система детекции сигналов:

• Система ExB для улучшения поверхностного изображения и устранения эффекта зарядки.

 
Удобная система управления:

• Сочетание трекбола и джойстика для точного и постоянного движения сцены.
• 24.1-дюймовый широкий экран LCD для отображения до 4 живых сигналов одновременно.

 
Высокая производительность:

• Боковая система замены образцов автоматически позиционирует держатель образцов.