Ионная имплантация
Ионная имплантация — это способ введения атомов примесей (имплантата) в поверхностный слой материала, например, пластины полупроводника или эпитаксиальной плёнки. Этот процесс осуществляется путём бомбардировки поверхности материала пучком ионов с высокой энергией (10—2000 кэВ).
Ионная имплантация широко используется при создании полупроводниковых приборов методом планарной технологии. Она позволяет формировать в приповерхностном слое полупроводника области с содержанием донорных или акцепторных примесей для создания p-n-переходов и гетеропереходов.
Она позволяет формировать в приповерхностном слое полупроводника области с содержанием донорных или акцепторных примесей для создания p-n-переходов и гетеропереходов. Также этот метод применяется для легирования металлов с целью изменения их физических и химических свойств, например, повышения твёрдости, износостойкости и коррозионной стойкости.
области применения
Ионная имплантация позволяет внедрять заданное количество практически любого химического элемента на заданную небольшую глубину, что делает её важным инструментом в различных областях науки и промышленности.
Ионная имплантация находит применение в различных областях.
Легирование полупроводников:
- Ионная имплантация используется при производстве полупроводниковых приборов для создания p-n-переходов и гетеропереходов.
- Также она применяется для формирования низкоомных контактов.
- Ионная имплантация может использоваться для создания композиционных систем с уникальными структурами и свойствами.
- Это позволяет легировать одно вещество другим с концентрацией, которую невозможно достичь даже при использовании высоких температур.
- В области металлургии она применяется для изменения физических и химических свойств металлов, таких как повышение твёрдости, износостойкости и коррозионной стойкости.
- В материаловедении она используется для исследования и модификации свойств различных материалов.
СВЯЖИТЕСЬ С НАМИ
Мы всегда готовы и открыты к тесному сотрудничеству!
Позвоните нам, напишите на электронный адрес или запросите обратную связь.
Наши компетентные менеджеры оперативно ответят вам и предоставят всю необходимую информацию.